லித்தோகிராஃபி என்பது வடிவமைக்கப்பட்ட வடிவத்தை நேரடியாகவோ அல்லது ஒரு இடைநிலை ஊடகத்தின் மூலமாகவோ தட்டையான மேற்பரப்பில் மாற்றுவதற்கான ஒரு நுட்பமாகும், இது ஒரு மாதிரி தேவையில்லாத மேற்பரப்பின் பகுதிகளைத் தவிர்த்து. முகமூடி லித்தோகிராஃபியில், வடிவமைப்புகள் ஒரு அடி மூலக்கூறில் அச்சிடப்பட்டு ஒரு உடன் வெளிப்படும்லேசர்அதனால் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பொருள் பொறிக்கப்பட்டு, மேலும் செயலாக்கத்திற்கு தயாராக உள்ளது. இந்த லித்தோகிராஃபி முறையானது செமிகண்டக்டர் செதில்களின் வெகுஜன உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஒரு செதில் சிறிய அம்சங்களின் கூர்மையான படங்களை திட்டமிடும் திறன் பயன்படுத்தப்படும் ஒளியின் அலைநீளத்தால் வரையறுக்கப்படுகிறது. இன்று மிகவும் மேம்பட்ட லித்தோகிராஃபி கருவிகள் ஆழமான புற ஊதா ஒளியை (DUV) பயன்படுத்துகின்றன, மேலும் எதிர்காலத்தில் இந்த அலைநீளங்கள் ஆழமான புற ஊதா (193 nm), வெற்றிட புற ஊதா (157 nm மற்றும் 122 nm) மற்றும் தீவிர புற ஊதா (47 nm மற்றும் 13 nm) ஆகியவற்றைத் தொடரும். ) சிக்கலான தயாரிப்புகள் மற்றும் IC, MEMS மற்றும் பயோமெடிக்கல் சந்தைகளுக்கான அடிக்கடி வடிவமைப்பு மாற்றங்கள் -- பல்வேறு செயல்பாடுகள் மற்றும் அடி மூலக்கூறு அளவுகளுக்கான தேவை அதிகரித்து வருகிறது -- உற்பத்தி அளவைக் குறைக்கும் அதே வேளையில், இந்த மிகவும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளை உற்பத்தி செய்வதற்கான செலவை அதிகரித்துள்ளது. பாரம்பரிய முகமூடி அடிப்படையிலான (முகமூடி) லித்தோகிராஃபி தீர்வுகள் இந்த பயன்பாடுகளில் பலவற்றிற்கு செலவு குறைந்த அல்லது நடைமுறைக்குரியவை அல்ல, அங்கு அதிக எண்ணிக்கையிலான முகமூடி கருவிகளை வடிவமைத்து தயாரிக்க தேவையான செலவு மற்றும் நேரம் வேகமாக அதிகரிக்கும். இருப்பினும், முகமூடி இல்லாத லித்தோகிராஃபி பயன்பாடுகள் மிகக் குறுகிய புற ஊதா அலைநீளங்களின் தேவையால் பாதிக்கப்படுவதில்லை, அதற்குப் பதிலாகப் பயன்படுத்தவும்லேசர்நீலம் மற்றும் UV வரம்புகளில் உள்ள ஆதாரங்கள். முகமூடி இல்லாத லித்தோகிராஃபியில்,லேசர்ஒளிச்சேர்க்கைப் பொருட்களின் மேற்பரப்பில் மைக்ரோ/நானோ கட்டமைப்புகளை நேரடியாக உருவாக்குகிறது. இந்த பல்துறை லித்தோகிராஃபி முறை முகமூடி நுகர்பொருட்களை நம்பவில்லை மற்றும் தளவமைப்பு மாற்றங்களை விரைவாகச் செய்யலாம். இதன் விளைவாக, விரைவான முன்மாதிரி மற்றும் மேம்பாடு அதிக வடிவமைப்பு நெகிழ்வுத்தன்மையுடன் எளிதாகிறது, அதே நேரத்தில் பெரிய பரப்பளவைக் கொண்டிருக்கும் (300மிமீ செமிகண்டக்டர் செதில்கள், பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளேக்கள் அல்லது PCBS போன்றவை). விரைவான உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய,லேசர்கள்முகமூடி இல்லாத லித்தோகிராஃபிக்கு பயன்படுத்தப்படும் முகமூடி பயன்பாடுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் பண்புகளைப் போன்றது: தொடர்ச்சியான அலை ஒளி மூலமானது நீண்ட கால ஆற்றல் மற்றும் அலைநீள நிலைத்தன்மை, குறுகிய கோட்டின் அகலம் மற்றும் முகமூடியின் சிறிய மாற்றம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. சிறிய பராமரிப்பு அல்லது உற்பத்தி சுழற்சிகளின் குறுக்கீடு கொண்ட நீண்ட ஆயுள் நிலைத்தன்மை இரண்டு பயன்பாடுகளுக்கும் முக்கியமானது. டிபிஎஸ்எஸ் லேசர் அதி-நிலையான குறுகிய கோடு அகலம், அலைநீள நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் சக்தி நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது இரண்டு லித்தோகிராஃபி முறைகளுக்கு ஏற்றது. நிகரற்ற அலைநீள நிலைப்புத்தன்மை, குறுகிய கோட்டின் அகலம் மற்றும் நீண்ட உலர் நீளங்களின் அலைநீள வரம்பில் சிறிய தடம் ஆகியவற்றைக் கொண்ட உயர்-சக்தி, ஒற்றை அதிர்வெண் ஒளிக்கதிர்களை நாங்கள் வடிவமைத்து உற்பத்தி செய்கிறோம் -- அவை இருக்கும் அமைப்புகளுடன் ஒருங்கிணைப்பதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
